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根据环氧乙烷灭菌时所用环氧乙烷气体纯度的不同可将环氧乙烷灭菌器分为混合类气体灭菌器和纯气体类灭菌器两种。下面将介绍它的灭菌原理与优点。
环氧乙烷灭菌机理是：环氧乙烷能与蛋白质上的羧基、氨基、硫基和羟基产生烷基化反应，代替上述各基团上不稳定氢原子，而构成一个带有羟乙基根的化合物，这个化合物破坏了微生物重要代谢反应中所必需的反应基，影响细菌酶的作用而使微生物死亡。
环氧乙烷灭菌器的优点是:
(1)可用于不耐高温、不耐湿物品的灭菌。
(2)穿透性强，灭菌效果好。
(3)适用范围广，对物品损伤小。
(4)包装材料要求低，便于储存运输。
(5)监测措施完善。
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