低温等离子灭菌器的出现解决了原来灭菌器范围受限的问题，给医院及特殊场合的使用带来了便利，它的灭菌范围是：
金属材料
不锈钢、铝、铜、钛等大多数金属。
非金属材料
玻璃、聚乙烯、乳胶、聚碳酸脂、聚乙炳、硅胶、特富龙、氯丙烯、聚苯乙烯、聚氯乙烯等。
器械类
软、硬式内窥镜，内窥镜设备，激光机头，食道扩张器，冷疗探子，动力设备和电池，剃刀机头，超声波探头，光学纤维及起搏线导线，纤维光缆，电子设备和导线，金属器械，玻璃器皿。
不适合低温等离子灭菌器的有：
内径小于1mm，长度大于500mm不锈钢管状器械吸湿材料（一次性防水织物、一次性手术服等）液体或粉末，不完全干燥的物品，一端闭塞的内腔。